高質量的薄膜是薄膜器件設計和應用的基礎，然而薄（báo）膜的質量很（hěn）大程度上（shàng）取決於製備技術和製備工藝條（tiáo）件參數，製備技術主要分（fèn）為物理方（fāng）法和化學方法