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微(wēi)電子基板材料的(de)理想性能
日期:2016-12-15  人氣:230

  高密度微電子技術要求介質基板材料能夠(gòu)與(yǔ)多種有源或無源元件更好的匹配以獲得所設計的功能。關鍵的物理性質之一是熱膨脹係數(TCE).要求基質的TCE與相(xiàng)接(jiē)觸元件的TCE盡可能接近。吸濕膨脹(zhàng)係數是另外一個關鍵的性質,要求(qiú)越低越好,以(yǐ)避免(miǎn)相對濕度(dù)變化時產生內應力。同時,材料的電性能必(bì)須確保信號不畸變、不損(sǔn)耗。一般來講,介質材料主要是支持和保護電路的無源(yuán)介質,而不是惰性的。

  另外,基板材料必須能夠適應嚴格的(de)生(shēng)產工藝。要求材料在生產過程中不熔融或嚴重(chóng)畸變,也不收縮,否(fǒu)則就(jiù)會在多層電路結構中引起內應力或電路的錯誤再分布。優良的(de)力學強度如高的模蹙和高的韌性對於受力(lì)情(qíng)況(kuàng)下防材料的畸變是非常重(chóng)要的。優良的抗扭曲性和流平性可(kě)保證材料在組裝時不堵塞或對準(zhǔn)失配.或保證易於進行(háng)半導體組裝之類的進一步加工。

  通常(cháng)可用堿性溶液進行(háng)化(huà)學(xué)拋光,這是它的(de)另一個優點.化學拋光可除去最終電路所不需要的區域.或為電或機械連接提供(用的孔或通孔)

  作為微電(diàn)子介質基板材料還有很多(duō)其他(tā)的要求,這通(tōng)常依(yī)賴於應(yīng)用的特殊要求。例如,作為TAB的載帶,在堿性溶液中的刻蝕性是很重要的;但作為撓性連接(jiē)材料,M1T折疊性則成為決定(dìng)性的因素。

  作為介質基(jī)板材料,必須與相鄰材料的(de)粘接性要好,不管它是有源(yuán)還是無源元件。否則,在工藝過程中易形成氣孔而導致器件(jiàn)的力學(xué)和電學性能的劣化。粘接性能在公開的材料性能中常常被忽(hū)略,該性質的重要(yào)性與應(yīng)用的目的有(yǒu)關,對於有些應用目(mù)的(de),它常常成為決定性的因素。

  由於聚酰亞胺薄膜在很寬的(de)溫度和濕度環境中具有優異的(de)性能,包括熱穩定性、物理性能和介電性質等(děng),因此在微電(diàn)子技術領域中的(de)應用越來越廣泛。薄膜介質材料的(de)性能隨著應用要求的不(bú)斷提高而不斷完善。


tags標簽: 聚(jù)酰亞胺薄(báo)膜
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