PW-1500S型聚酰亞胺薄膜的製作過程如下:
(1) 先用丙酮對2英寸的BF33硼(péng)矽玻璃(lí)基底超聲清洗15 min,再用無水乙醇超聲清洗(xǐ)15 min,最後用去離子水
超聲清洗2次,每(měi)次10 min,清(qīng)洗完後將其放在110 ℃的烘箱中烘30 min;
(2) 用(yòng)勻膠機(KW-15,中國科學院微電(diàn)子研究所(suǒ))旋塗PW-1500S型(xíng)聚酰亞胺前驅體,低速為300 r/min、時
間為10 s,高速為1 200 r/min、時間為40 s;
(3) 在熱板(AI-508T,中國電子科技集團第(dì)十三研究所)上對薄膜進行前烘,溫度為120 ℃,時間為3 min;
(4) 在(zài)高溫氮氣烘箱(SG-HX500,中國科學院上(shàng)海光學精密機械研究(jiū)所)中對薄膜進行固(gù)化,固(gù)化參數(shù)為:50 ℃、30 min,140 ℃、30 min,350 ℃、60 min,升溫速率為3.5 ℃/min,整個過程需要氮氣(qì)保護,固化後隨爐冷卻。
FB-5410型和ZKPI-520型聚酰亞胺薄膜的製造過程與PW-1500S型聚酰亞胺薄膜(mó)的製作過程完全相同,隻是聚酰亞胺前(qián)驅體的旋(xuán)塗(tú)工藝參數和(hé)前烘工藝參數略有不同。
FB-5410 型聚酰亞胺前(qián)驅體的旋塗工藝參數為:低速為600 r/min、時間(jiān)為9 s,高速為1 400r/min、時間為40 s;前烘工藝參數為:溫度為115 ℃、時間為3 min。ZKPI-520型聚酰亞胺前驅體的旋塗工藝參數為:低(dī)速為600 r/min、時間為9 s,高速為(wéi)1 200 r/min、時間為40 s;前烘工藝參數為:溫度為110 ℃、時間為70 s。